德國IFM電容式傳感器工作原理及優(yōu)點
    IFM電容式傳感器工作原理：IFM電容式傳感器也常常被人們稱為電容式物位計，電容式物位計的電容檢測元件是根據圓筒形電容器原理進行工作的，電容器由兩個絕緣的同軸圓柱極板內電極和外電極組成，在兩筒之間充以介電常數為e的電解質時，兩圓筒間的電容量為C=∏eL/lnD/d，式中L為兩筒相互重合部分的長度；D為外筒電極的直徑；d為內筒電極的直徑；e為中間介質的電介常數。在實際測量中D、d、e是基本不變的，故測得C即可知道液位的高低，這也是電容式傳感器具有使用方便，結構簡單和靈敏度高，價格便宜等特點的原因之一。
    IFM電容傳感器也屬于具有開關量輸出的位置傳感器，是一種接近式開關。 它的測量頭通常是構成電容器的一個極板，而另一個極板是待測物體的本身。當物體移向接近開關時，物體和接近開關的介電常數發(fā)生變化，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化。由此，便可控制開關的接通和關斷。
    IFM電容傳感器介紹：用電測法測量非電學量時，首先必須將被測的非電學量轉換為電學量而后輸入之。通常把非電學量變換成電學量的元件稱為變換器；根據不同非電學量的特點設計成的有關轉換裝置稱為傳感器，而被測的力學量（如位移、力、速度等）轉換成電容變化的傳感器稱為IFM電容傳感器。從能量轉換的角度而言，電容變換器為無源變換器，需要將所測的力學量轉換成電壓或電流后進行放大和處理。力學量中的線位移、角位移、間隔、距離、厚度、拉伸、壓縮、膨脹、變形等無不與長度有著密切的量；這些量又都是通過長度或者長度比值進行測量的量，而其測量方法的相互關系也很密切。另外，在有些條件下，這些力學量變化相當緩慢，而且變化范圍極小，如果要求測量極小距離或位移時要有較高的分辨率，其他傳感器很難做到實現高分辨率要求，在精密測量中所普遍使用的差動變壓器傳感器的分辨率僅達到1～5 μm數量級；而有一種電容測微儀，他的分辨率為0.01 μm，比前者提高了兩個數量級，zui大量程為100±5 μm，因此他在精密小位移測量中受到青睞。
    對于上述這些力學量，尤其是緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容式傳感器進行檢測比較適宜，主要是這類傳感器具有以下突出優(yōu)點：(1)測量范圍大其相對變化率可超過*；(2)靈敏度高，如用比率變壓器電橋測量，相對變化量可達10-7數量級；(3)動態(tài)響應快，因其可動質量小，固有頻率高，高頻特性既適宜動態(tài)測量，也可靜態(tài)測量；(4)穩(wěn)定性好由于電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英等；因此可以在高溫、低溫強磁場、強輻射下長期工作，尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測難題。
    IFM電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點：
    (1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
    (2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數低的材料， 又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微。
    (3)結構簡單，適應性強，待測體是導體或半導體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。電容式傳感 器結構簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實現某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強 磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。
    (4)動態(tài)響應好。由于極板間的靜電引力很小，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很 高，動態(tài)響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量，如測量振動、瞬時壓力等。
    (5)可以實現非接觸測量，具有平均效應。例如非接觸測量回轉軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,電容式傳感器具有平均效應，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。
    電容式傳感器存在的不足之處如下：
    (1)輸出阻抗高，負載能力差。
    (2)寄生電容影響大。
    IFM電容式傳感器的初始電容量很小,而傳感器的引線電纜電容(lm~2m導線可達800 pF)、測 量電路的雜散電容以及傳感器極板與其周圍導體構成的電容等“寄生電容”卻較大，這一方面降 低了傳感器的靈敏度;另一方面這些電容(如電纜電容)常常是隨機變化的，將使傳感器工作不穩(wěn) 定，影響測量精度，其變化量甚至超過被測量引起的電容變化量，致使傳感器無法工作。因此對 電纜的選擇、安裝、接法都要有要求。
    為減小電纜分布電容影響，可將電子線 路的前級裝在離傳感器敏感部分很近的地 方，或采用所謂“雙層屏蔽等電位傳輸技術”，
    又稱“驅動電纜”技術。這種方法的基本思路 是:連接電纜采用內外雙層屏蔽，使內屏蔽層 與被屏蔽的導線電位相同，因而兩者之間沒 有容性電流存在，這樣使引線與內屏蔽之間 的電纜電容不起作用，外屏蔽仍被接地而對 外界電場起屏蔽作用，其原理如圖5 - 15所 示。外屏蔽接地后，對地之間電容將成為1:1放大器的負載，它也與電容式傳感器的電 容無關。這樣無論電纜形狀和位置如何變化，都不會對傳感器的工作產生影響。
    IFM電容式傳感器兩點注意：
    工作頻率等于或接近諧振頻率時，諧振頻率破壞了電容的正常作用。因此，工作頻率應該先擇低于諧振頻率。
    IFM電容式傳感器的有效電容除與位移有關外，還與角頻率有關。因此，在實際應用時必須與標定的條件（ω）相同。
    IFM電容傳感器的特點：電容量小，變化更小（PF級）。理論上，交流電橋可作為IFM電容傳感器的測量電路，但由于電容及變化太小，不易實現。包括（1）調頻電路（2）運算放大器式電路（3）二極管雙T形交流電橋（4）脈沖寬度調制電路
    調頻電路
    IFM電容式傳感器特點：
    （1）轉換電路生成頻率信號，可遠距離傳輸不受干擾。
    （2）具有較高的靈敏度，可以測量高至0.01μm級位移變化量。
    （3）但非線性較差，可通過鑒頻器（頻壓轉換）轉化為電壓信號后，進行補償。
    IFM電容式傳感器特點：
    （1）解決了單個變極板間距離式IFM電容傳感器的非線性問題
    （2）要求Zi及放大倍數足夠大
    （3）為保證儀器精度，還要求電源電壓的幅值和固定電容穩(wěn)定
    （4）由于Cx變化小，所以該電路實現起來困難
    （5）輸入阻抗高（避免泄漏）、放大倍數大（接近理想放大器）

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